半导体特性曲线图示仪 CS-8000系列
可与多种单元组合、适用于任何工序的特性评估、支持下一代的半导体测量。
- 最大5kV、最大2000A的大功率测试
- 正确的微电流测量 (分辨率250fA)
- 大画面12.1英寸触摸屏幕
- 多种GATE信号输出功能
- 充实的温度特性测量选配件
- 探测台上的大功率晶圆测试
主要规格
门极电压 ： ±40 V 电压量程 ： 0.2 ～ 5 kV 最大测量电流 ： 2 kA 电流测量分辨率 ： 250 fA
实测时的好处
- 支持SiC及GaN设备
- 还可支持晶圆及小功率设备
- 还可支持大功率设备
- 支持微电流测量
易于使用的UI
搭载12.1英寸TFT-LCD(1,280×800)的高清、大画面显示器、添加触摸屏幕操作功能、可通过前面板上的功能键、各功能的独立旋钮实现直观操作。
①X-Y显示区域
可将任意电压/电流参数分别设置于X轴、Y轴、并显示Vds Id特性、阈值电压、Vds-Vgs饱和特性等各种半导体特性曲线。同时、还可在Y轴上设置多个参数。刻度可在Log/线性之间相互切换。
②Y-T显示区域
可像示波器一样通过时间轴显示测量印加波形。可实时确认脉宽、测量点、振荡等波形异常等、所以可轻松检验测量是否正确完成。 所有印加波形数据均可与X-Y显示的数据同时保存、所以可对测量结果再次执行检验。
③测量数据显示区域
以文本方式显示详细测量结果和测量条件、状态。
④配置设置区域
设置设备的测量配置。支持以图形方式显示电压/电流单元的选择及配线变更等
⑤参数设置区域
在此区域执行测量参数/测量限值的设置及手动/自动测量的切换等作业。
⑥操作面板
正面面板上配有按钮和转动旋钮、可轻松执行手动测量。 配置于中央的数字键可执行参数的数值输入。 可通过DRAIN/COLLECTOR/GATE/BASE/垂直轴/水平轴转动旋钮轻松执行手动测量。
基于用途的输出源
可基于用途任意选择测量所需电压/电流单元。
右侧照片分别为：
上段：测试台
下段：大电流单元
HV单元
2kV、5kV的高电压单元。DC/脉冲波可选。额定电压/额定电流驱动测量可选。
| 主单元 | CS-8200 | CS-8500 |
|---|---|---|
| 最大电压 (最大电流) |
2 kV (20 mA) |
5 kV (8 mA) |
| 波形 | DC、脉冲 | |
| 极性 | 正/负 | |
| 测量电流分辨率 | 250 fA | |
MV单元(所有主单元共通)
200V的中电压单元。额定电压/额定电流驱动测量可选。DC、脉冲等、SIN、半波、全波波形可选。
| 最大电压 (最大电流) |
200 V (2 A) |
|---|---|
| 波形 | DC(200 mA)、 脉冲(2A)、 SIN、半波、全波 |
| 极性 | 正/负/两极性 |
| 测量电流分辨率 | 250 fA |
GATE单元(所有主单元共通)
40V的单元。额定电压/额定电流驱动测量可选。DC、脉冲等、SIN可选。
| 最大电压(最大电流) | 40 V (1 A) |
|---|---|
| 波形 | DC、脉冲、SIN |
| 极性 | 正/负/两极性 |
| 测量电流分辨率 | 250 fA |
HC单元
搭载大电流模式、由此可支持最大2000A的大电流测量。脉宽、测量周期、测量范围均可调整
| HC 单元 |
CS-205 | CS-210 | CS-220 |
|---|---|---|---|
| 最大电流 (电压) |
500 A (50 V) |
1 kA (50 V) |
2 kA (50 V) |
| 波形 | 脉冲 | ||
| 脉宽 | 10µs～1ms | 10µs～500µs | |
| 极性 | 正/负 | ||
最小电流分辨率 250 fA
通过三轴的采用和测量类的优化、有效削减了设备内的漏电流和噪声、可实现微电流的稳定测量。
多种GATE信号输出
可按排序输出、印加GATE信号。
保持时间可调范围
0.000[s] ～ 5.000[s]
预备信号电压范围
GATE侧 -40[V] ～ +40[V]
迟滞测量
CS-8000 系列具有测量宽带隙半导体 (如具有磁滞的 SiC 和 GaN) 的便捷功能。
双重扫频功能可同时显示UP扫频、DOWN扫频、所以可执行迟滞观测。
安全机构
添加联动功能、备有输出限值功能。
可为电压/电流/功率分别设置限值、由此防止DUT的损伤。
同时、通过硬件的过电流保护功能、在流入测量量程的1.4倍电流时即会阻断电流。
组合结构
可根据测量对象电压和电流选择HC单元或测试台。
主单元：CS-8200
HC单元：CS-220
测试台：CS-322 HV/HC
附件电缆：
HV标配电缆套装 CS-021
HC标配电缆套装 CS-022
CS-8000系列 主要规格
| 主单元 机型名称 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 | |
|---|---|---|---|---|
| HV单元 | ||||
| 最大峰值电压(最大电流) | ― | 2 kV (20 mA) | 5 kV (8 mA) | |
| 测量电压量程(满量程) | ― | 2 kV ～ 50 V | 5 kV ～ 50 V | |
| 测量电流量程 | ― | 20 mA ～ 50 μA | 20 mA ～ 50 μA | |
| 最小测量电流分辨率 | ― | 250 fA | 250 fA | |
| 波形 | ― | DC/脉冲 | DC/脉冲 | |
| MV单元 | ||||
| 最大峰值电压(最大电流) | 200 V (1 A) | |||
| 测量电压量程(满量程) | 200 V ～ 200 mV | |||
| 测量电流量程 | 2 A ～ 5 nA | |||
| 最小测量电流分辨率 | 250 fA | |||
| 波形 | DC(200 mA)、脉冲(2A)、SIN、半波、全波 | |||
| GATE单元 | ||||
| 最大峰值电压(最大电流) | 40 V (1 A) | |||
| 测量电压量程(满量程) | 50 V ～ 1 V | |||
| 测量电流量程 | 1 A ～ 5 nA | |||
| 最小测量电流分辨率 | 250 fA | |||
| 波形 | DC/脉冲/SIN (50 Hz) | |||
| 标配附件 | 电源线、控制接口终端器、使用说明书(手册＋CD) | |||
| HC单元 机型名称 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
|---|---|---|---|
| 最大峰值电流(最大电压) | 500 A (50 V) | 1,000 A (50 V) | 2,000 A (50 V) |
| 测量电压量程(满量程) | 50 V ～ 200 mV | 50 V ～ 200 mV | 50 V ～ 200 mV |
| 测量电流量程 | 500 A ～ 5 A | 1,000 A ～ 5 A | 2,000 A ～ 5 A |
| 波形 | 脉冲 (脉宽10µs ～ 1ms) |
脉冲 (脉宽10µs ～ 500µs) |
脉冲 (脉宽10µs～ 500µs) |
| 标配附件 | 电源线、HC-FIXTURE连接单元、使用说明书 | ||
- 使用HC单元时、需另行准备感应电缆。
| 测试台 机型名称 | CS-320MV(计划近日发售) | CS-322HV/HC |
|---|---|---|
| 标配附件 | 电源线、标配引脚套装(CS-005 1套7根)、使用说明书 | |
| ― | HV／HC电缆(2根) | |
- 连接测试台时、需另行准备连接线。
电缆 (连接测试台及HC单元时使用)
| 型号 | 品名 |
|---|---|
| CS-025 | HV电缆 (L=1.0m) |
| CS-026 | 三轴电缆 (L=1.0m) |
| CS-027 | 控制接口连接线 (L=1.0m) |
| CS-028 | 联动/感应电缆 (L=1.0m) |
连接线套装(一套您需要的所有电缆)
| 电缆套装名称 | 内容 |
|---|---|
CS-020 MV标配电缆套装 (CS-320专用推荐套装) |
CS-026 (三轴电缆 L=1.0m) 7根 |
| CS-027 (控制接口连接线 L=1.0m) 1根 | |
| CS-028 (联动/感应电缆 L=1.0m) 1根 | |
CS-021 HV标配电缆套装 (CS-322专用推荐套装) |
CS-025 (HV电缆 L=1.0m) 2根 |
| CS-026 (三轴电缆 L=1.0m) 7根 | |
| CS-027 (控制接口连接线 L=1.0m) 1根 | |
| CS-028 (联动/感应电缆 L=1.0m) 1根 | |
CS-022 HC标配电缆套装 (HC单元专用推荐套装) |
CS-027 (控制接口连接线 L=1.0m) 1根 |
| CS-028 (联动/感应电缆 L=1.0m) 1根 |
